Vortrag Technikgeschichte: Geräteentwicklung zur Defektkontrolle
25
Okt 2016
Dienstag
- 18:15
Es spricht Manfred Heinze (HSEB Dresden GmbH) zum Thema:
„Geräteentwicklung zur Defektkontrolle von Mikrostrukturen auf Fotoschablonen und Halbleiter-Wafern von 1978 bis heute beim VEB CZ Jena und der HSEB Dresden GmbH“
Ort: Universitätshauptgebäude, Fürstengraben 1, Hörsaal 235
Veranstalter: Verein für Technikgeschichte